这人是名年约五旬的老者，头发花白却精神矍铄，缓缓站起身，笑着对他说：
“姜先生你好。
我是军、工、工程师，您可以叫我张工。
我旁边这位，是军方技术负责人陈将军。”
他指了指身旁，穿着少将制服的中年男人，对方微微颔首，
“之所以打断你，是想问问，
难道，你这次没有准备纸质资料，或者电子档案吗？
我们也好对照记录。”
听到张工的询问，姜明偷偷瞥了一眼，主座上的江老，见老爷子脸色沉了沉，无奈解释：
“张工，实在抱歉。
我这不是刚把消息告知江老，还没来得及准备，就被他‘提溜’过来了嘛。”
他故意加重了“提溜”二字，
引得旁边的陈将军，嘴角微微上扬，
“我都说了，
给我点时间，先把研究所注册好，可老爷子的命令太大，我不敢违背呀。”
主位上的江老听到这话，
顿时冷哼一声，
却没再多说什么——这小子，还敢倒打一耙。
众人听了姜明的解释，这才恍然大悟，
会议室里的严肃气氛缓和了些。
张工笑着摆了摆手：
“哦，那是我误会姜先生了。
那么接下来，就辛苦你把5纳米和6纳米，光刻机的基础参数，跟我们说说，
我们这边做实时记录。”
他拿起笔，眼神里带着期待——要是这参数真能落地，
我国的芯片技术，就能往前迈一大步。
姜明点点头，指尖无意识地在桌沿轻点，
开始精准报出数据：
“先讲5纳米机型。
核心的激光光源波长，是13.5纳米极紫外光，数值孔径0.33。
工作台最高移动速度，能到每秒300毫米，
定位精度必须控制在正负2纳米以内，
多一丝都不行，
这是保证芯片良率的关键。”
张工手里的笔，在笔记本上飞速滑动，笔尖在纸上划出“沙沙”声，
听到“正负2纳米”时，他猛地抬头，
眼里闪过一丝震惊，
随即追问：
“曝光系统的功率和透镜材料呢？
这俩参数，对后续调试影响很大。”
“5纳米机型的曝光功率，稳定在250瓦，波动范围不能超正负1%，透镜用的是合成熔融石英，
表面粗糙度得低于0.1纳米。”
姜明顿了顿，刻意略过核心工艺，
“具体怎么做到这么低的粗糙度，目前不方便多讲，属于独家技术。”
他看向陈将军，对方正微微点头，
显然对这个精度很满意。
“6纳米机型的光源波长，和5纳米一样，但数值孔径降到0.28，工作台负载上限，
比5纳米的高15%，适合量产。
曝光功率下调到200瓦，更节能。
透镜加了抗反射涂层，能减少8%左右的光损耗。”
陈将军放下手里的水杯，杯底与桌面碰撞发出轻响，他沉声问道：
“真空系统和光刻胶适配的关键参数，能说吗？
这直接关系到设备，
能不能在现有厂房里安装。”
“真空系统两者都是三级差分泵，真空度能达到****帕，不过泵体的内部结构，
得等后续流程走完再细谈。”
姜明语速平稳，避开核心设计，
“光刻胶方面，
5纳米机型，要适配粘度5-8，6纳米的得用8-12，至于哪种配方的光刻胶最匹配，
现在还不能透露，
这是我们的另一个技术壁垒。”
张工停笔补充，笔尖在“粘度”二字下画了条横线：
“那设备能耗、占地面积，
还有对环境的要求呢？
我们得提前规划厂房，特别是恒温恒湿系统，改造起来耗时不短。”
“5纳米机型额定功耗大概300千瓦，
占地方圆得留120平方米，要单独隔出无尘车间。
6纳米的功耗250千瓦，100平方米就够。”
陈将军眉头微蹙，手指在桌面上轻轻敲击：
“那缺陷检测的精度标准，还有核心算法，能透点吗？
这关系到后期的维护成本。”
姜明摇摇头，语气坦诚：
“陈将军，
缺陷检测我只能保证精度——每平方厘米的粒子数小于0.1个，但具体怎么检测、用什么算法，
这是核心壁垒，
得等你们先验证完我刚才说的这些基础参数，确认能落地，
后续再分阶段说。
现在说早了，反而容易出问题，万一被别有用心的人听了去，
得不偿失。”
他这话既是实情，也是在试探军方的态度。
江老在主位上听着，脸上没什么表情，心里却暗暗点头——这小子虽然滑头，
但在技术保密上拎得清，没白让妍妍跟他。
此时，姜明见会议桌上的众人，都埋着头，笔尖在笔记本上沙沙作响，
认真记录着刚才的内容，便没有打扰。
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